Радиоэлектроника за рубежом. 1980, Вып.7(901): Новые возможности применения лазеров в технологии изготовления полупроводниковых изделий
русский (rus)/Новые возможности применения лазеров в технологии изготовления полупроводниковых изделий / С.В. Бородина.Новые возможности применения лазеров в технологии изготовления полупроводниковых изделий / С.В. Бородина.Новые возможности применения лазеров в технологии изготовления полупроводниковых изделий.Б. м./, 1980 ( ). - 1980.Новые возможности применения лазеров в технологии изготовления полупроводниковых изделий. Б. м., 1980 .Радиоэлектроника за рубежом : Техн. информация / Гос. ком. Совета Министров СССР по радиоэлектронике. ЦБНТИ1980, Вып.7(901)