Лазерная микротехнология, (Конспект лекций), Учеб. пособие
2000-4/1253 - 50 экз.5-7038-1447-2/[2000-6148]/русский (rus)/Лазерная микротехнология : (Конспект лекций) : Учеб. пособие / А.Н. Сафонов, И.Н. Шиганов ; Под ред. А.Н. Сафонова ; Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана.Лазерная микротехнология : (Конспект лекций) : Учеб. пособие / А.Н. Сафонов, И.Н. Шиганов.Лазерная микротехнология : (Конспект лекций) : Учеб. пособие.М./Изд-во МГТУ/, 1999 ( ). - Изд-во МГТУ, 1999. - 49,[2] с. : ил. ; 20 см.Лазерная микротехнология : (Конспект лекций) : Учеб. пособие. М., 1999 .
Библиогр. в конце кн. (7 назв.). Библиогр. в конце кн. (7 назв.).Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Производство -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы/Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Производство -- Учебные издания для высшей школы/Лазеры -- Применение в микроэлектронике -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы/Лазеры -- Применение в микроэлектронике -- Учебные издания для высшей школы/З844.1-06я73-2/
Библиогр. в конце кн. (7 назв.). Библиогр. в конце кн. (7 назв.).Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Производство -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы/Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Производство -- Учебные издания для высшей школы/Лазеры -- Применение в микроэлектронике -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы/Лазеры -- Применение в микроэлектронике -- Учебные издания для высшей школы/З844.1-06я73-2/