Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур, математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур с нанометровыми размерами, курс лекций
- 80 экз.9785876236623/[2013-30858]/русский/Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур : математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур с нанометровыми размерами : курс лекций / С.Ю. Юрчук ; М-во образования и науки РФ, Федер. гос. автоном. образоват. учреждение высш. проф. образования "Нац. исслед. технол. ун-т "МИСиС", Каф. полупровониковой электроники и физики полупроводников.Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур : математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур с нанометровыми размерами : курс лекций / С.Ю. Юрчук.Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур : математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур с нанометровыми размерами : курс лекций.Москва/Издательский дом МИСиС/, 2013 ( ). - Издательский дом МИСиС, 2013. - 44 с. : ил. ; 21 см.Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур : математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур с нанометровыми размерами : курс лекций. Москва, 2013 .
Библиогр.: с. 44. Библиогр.: с. 44.Нанокристаллические материалы -- Учебные издания для высших учебных заведений/Наноструктуры -- Компьютерное моделирование -- Учебные издания для высших учебных заведений/Нанотехнологии -- Математические основы -- Учебные издания для высших учебных заведений/Литография -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.1-01с11я73-2/Ж6я73-2/Ж366я73-2/М831я73-2/
Библиогр.: с. 44. Библиогр.: с. 44.Нанокристаллические материалы -- Учебные издания для высших учебных заведений/Наноструктуры -- Компьютерное моделирование -- Учебные издания для высших учебных заведений/Нанотехнологии -- Математические основы -- Учебные издания для высших учебных заведений/Литография -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.1-01с11я73-2/Ж6я73-2/Ж366я73-2/М831я73-2/