Справочные материалы по электронной технике. 1969, Вып.1(7): Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок
русский (rus)/Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок .Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок.Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок.Б. м./, 1969 ( ). - 1969.Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок. Б. м., 1969 .Справочные материалы по электронной технике / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"1969, Вып.1(7)