ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ проблемы микроэлектроники, [Сб. ст.]
П7/2089 русский (rus)/ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ проблемы микроэлектроники : [Сб. ст.] / Отв. ред. д. ф.-м. н. Т.М. Махвиладзе, д. ф.-м. н. А.В. Раков.ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ проблемы микроэлектроники : [Сб. ст.] / Отв. ред. д. ф.-м. н. Т.М. Махвиладзе, д. ф.-м. н. А.В. Раков.ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ проблемы микроэлектроники : [Сб. ст.].М./Наука/, 1988 ( ). - Наука, 1988. - 172 с. : ил. ; 24 см. - (Труды Института общей физики / АН СССР, Ин-т общ. физики ; Т. 14).ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ проблемы микроэлектроники : [Сб. ст.]. М., 1988 .
Библиогр. в конце ст. Библиогр. в конце ст.
Библиогр. в конце ст. Библиогр. в конце ст.