Бескислородные тугоплавкие соединения в микроэлектронике, Сб. науч. тр.
89-50К/1733 русский (rus)/Бескислородные тугоплавкие соединения в микроэлектронике : Сб. науч. тр. / АН УССР, Ин-т пробл. материаловедения ; [Редкол.: д. х. н., проф. Т.Я. Косолапова (отв. ред.) и др.].Бескислородные тугоплавкие соединения в микроэлектронике : Сб. науч. тр. / АН УССР, Ин-т пробл. материаловедения.Бескислородные тугоплавкие соединения в микроэлектронике : Сб. науч. тр.Киев/ИПМ/, 1987 ( ). - ИПМ, 1987. - 115, 13 с. : ил. ; 20 см.Бескислородные тугоплавкие соединения в микроэлектронике : Сб. науч. тр. Киев, 1987 .
Библиогр. в конце тр. - ДСП. Экз. № 0006. Библиогр. в конце тр.
Библиогр. в конце тр. - ДСП. Экз. № 0006. Библиогр. в конце тр.