Фазовый анализ тонких пленок по ожеспектрам
88-6/6206 русский (rus)/Фазовый анализ тонких пленок по ожеспектрам / В.Г. Бешенков, Ч.В. Копецкий, Ю.А. Шиянов.Фазовый анализ тонких пленок по ожеспектрам / В.Г. Бешенков, Ч.В. Копецкий, Ю.А. Шиянов.Фазовый анализ тонких пленок по ожеспектрам.Черноголовка/Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов/, 1988 ( ). - Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов, 1988. - 35 с. : ил. ; 22 см. - (Препринт / АН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов).Фазовый анализ тонких пленок по ожеспектрам. Черноголовка, 1988 .
Библиогр.: с. 24-25. Библиогр.: с. 24-25.
Библиогр.: с. 24-25. Библиогр.: с. 24-25.