Тонкие пленки в электронике, Материалы II всесоюз. межотрасл. совещ.
91-4/10285 русский/Тонкие пленки в электронике : Материалы II всесоюз. межотрасл. совещ.Тонкие пленки в электронике : Материалы II всесоюз. межотрасл. совещ.Тонкие пленки в электронике : Материалы II всесоюз. межотрасл. совещ.М./Ижевск/Б. и./, 1991 ( ). - Б. и., 1991. - 84, [1] с. : ил. ; 20 см.Тонкие пленки в электронике : Материалы II всесоюз. межотрасл. совещ. М., Ижевск, 1991 .
В надзаг.: Науч.-произв. об-ние "Техномаш", Центр. н.-и. технол. ин-т, НИИ вакуум.-электрон. машиностроения, АН СССР, Ин-т физ. химии, МГП ВНТОРЭС им А.С. Попова, Секция "Технология пр-ва и конструирования РЭА". - Библиогр. в конце докл. Библиогр. в конце докл."Техномаш", научно-производственное объединение (Москва)/
В надзаг.: Науч.-произв. об-ние "Техномаш", Центр. н.-и. технол. ин-т, НИИ вакуум.-электрон. машиностроения, АН СССР, Ин-т физ. химии, МГП ВНТОРЭС им А.С. Попова, Секция "Технология пр-ва и конструирования РЭА". - Библиогр. в конце докл. Библиогр. в конце докл."Техномаш", научно-производственное объединение (Москва)/