Электрические методы исследования дефектности тонких диэлектрических слоев (по данным отечественной и зарубежной печати за 1964-1982 гг.)
П51/94 русский (rus)/Электрические методы исследования дефектности тонких диэлектрических слоев (по данным отечественной и зарубежной печати за 1964-1982 гг.) .Электрические методы исследования дефектности тонких диэлектрических слоев (по данным отечественной и зарубежной печати за 1964-1982 гг.).Электрические методы исследования дефектности тонких диэлектрических слоев (по данным отечественной и зарубежной печати за 1964-1982 гг.).М./ЦНИИ "Электроника"/, 1983 ( ). - ЦНИИ "Электроника", 1983. - 56 с. : ил. ; 22 см. - (Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника" ; Вып. 935 ; Вып. 2).Электрические методы исследования дефектности тонких диэлектрических слоев (по данным отечественной и зарубежной печати за 1964-1982 гг.). М., 1983 .
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР. - Библиогр.: с. 51-56. Библиогр.: с. 51-56.
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР. - Библиогр.: с. 51-56. Библиогр.: с. 51-56.