Процессы и оборудование электронно-ионной технологии, Сб. науч. тр.
85-3/8815 русский (rus)/Процессы и оборудование электронно-ионной технологии : Сб. науч. тр. / НИИ электрон.-ион. технологии (НИИЭТ) ; [Редкол.: засл. инж. ГССР, к. т. н. Г.П. Самхарадзе (гл. ред.) и др.].Процессы и оборудование электронно-ионной технологии : Сб. науч. тр. / НИИ электрон.-ион. технологии (НИИЭТ).Процессы и оборудование электронно-ионной технологии : Сб. науч. тр.Тбилиси/НИИЭТ/, 1984 ( ). - НИИЭТ, 1984. - 146 с. : ил. ; 20 см.Процессы и оборудование электронно-ионной технологии : Сб. науч. тр. Тбилиси, 1984 .
Библиогр. в конце ст. Библиогр. в конце ст.НИИ электронно-ионной технологии (Тбилиси)/
Библиогр. в конце ст. Библиогр. в конце ст.НИИ электронно-ионной технологии (Тбилиси)/