ГЕНЕРАЦИЯ аэрозолей оборудованием микроэлектроники и аспекты создания технологической среды требуемой чистоты, По данным отеч. и зарубеж. печати 1961-1988 гг.
русский/ГЕНЕРАЦИЯ аэрозолей оборудованием микроэлектроники и аспекты создания технологической среды требуемой чистоты : По данным отеч. и зарубеж. печати 1961-1988 гг. / В.М. Редин, В.И. Ушаков, В.И. Каракеян и др.ГЕНЕРАЦИЯ аэрозолей оборудованием микроэлектроники и аспекты создания технологической среды требуемой чистоты : По данным отеч. и зарубеж. печати 1961-1988 гг. / В.М. Редин, В.И. Ушаков, В.И. Каракеян и др.ГЕНЕРАЦИЯ аэрозолей оборудованием микроэлектроники и аспекты создания технологической среды требуемой чистоты : По данным отеч. и зарубеж. печати 1961-1988 гг.М./Изд-во ЦНИИ "Электроника"/, 1989 ( ). - Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1989. - 53 с., включ. обл. : ил. ; 21 см. - (Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника" ; Вып. 1466 ; Вып. 2).ГЕНЕРАЦИЯ аэрозолей оборудованием микроэлектроники и аспекты создания технологической среды требуемой чистоты : По данным отеч. и зарубеж. печати 1961-1988 гг. М., 1989 .
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР. - Библиогр.: с. 50-53. Библиогр.: с. 50-53.
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР. - Библиогр.: с. 50-53. Библиогр.: с. 50-53.