Российская национальная библиография

Описание RUSMARC Карточка

Материаловедение в микроэлектронике

русский/Материаловедение в микроэлектронике .Материаловедение в микроэлектронике.Материаловедение в микроэлектронике.Москва/Энергия/, 1978 ( ). - Энергия, 1978. - 279 с. : ил. ; 20 см. - (Электронное материаловедение).Материаловедение в микроэлектронике. Москва, 1978 .
     Список лит.: с. 268-278. Список лит.: с. 268-278.Микроэлектронные схемы -- Материалы/psbo/ Палатник, Л.С., Лев Самойлович .Л.С.Лев СамойловичСорокин, Вадим Константинович /