Ионно-плазменные источники в технологии микроэлектронных приборов, (По данным отеч. и зарубеж. лит. за 1965-1981 годы)
русский/Ионно-плазменные источники в технологии микроэлектронных приборов : (По данным отеч. и зарубеж. лит. за 1965-1981 годы) / А.Г. Денисов, Е.Я. Черняк, А.А. Козлов.Ионно-плазменные источники в технологии микроэлектронных приборов : (По данным отеч. и зарубеж. лит. за 1965-1981 годы) / А.Г. Денисов, Е.Я. Черняк, А.А. Козлов.Ионно-плазменные источники в технологии микроэлектронных приборов : (По данным отеч. и зарубеж. лит. за 1965-1981 годы).М./ЦНИИ "Электроника"/, 1982 ( ). - ЦНИИ "Электроника", 1982. - 64 с. : ил. ; 21 см. - (Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника" ; Вып. 893 ; Вып. 14).Ионно-плазменные источники в технологии микроэлектронных приборов : (По данным отеч. и зарубеж. лит. за 1965-1981 годы). М., 1982 .
В вып. дан. авт.: К. т. н. А.Г. Денисов, К. ф.-м. н. Е.Я. Черняк, А.А. Козлов. - В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР. - Библиогр.: с. 60-64. Библиогр.: с. 60-64.
В вып. дан. авт.: К. т. н. А.Г. Денисов, К. ф.-м. н. Е.Я. Черняк, А.А. Козлов. - В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР. - Библиогр.: с. 60-64. Библиогр.: с. 60-64.