Низкотемпературная плазма и ее применение в производстве ИЭТ, (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1976-1981 гг.)
русский/Низкотемпературная плазма и ее применение в производстве ИЭТ : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1976-1981 гг.) / [Сост. А.В. Дубравина].Низкотемпературная плазма и ее применение в производстве ИЭТ : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1976-1981 гг.) / [Сост. А.В. Дубравина].Низкотемпературная плазма и ее применение в производстве ИЭТ : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1976-1981 гг.).М./ЦНИИ "Электроника"/, 1982 ( ). - ЦНИИ "Электроника", 1982. - 30 с. ; 21 см. - (Тематические указатели литературы / ЦНИИ "Электроника" ; Вып. 333 ; Вып. 2).Низкотемпературная плазма и ее применение в производстве ИЭТ : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1976-1981 гг.). М., 1982 .
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.