Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве, [Учебник для сред. проф.-техн. уч-щ]
80-5/4510 русский (rus)/Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве : [Учебник для сред. проф.-техн. уч-щ].Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве : [Учебник для сред. проф.-техн. уч-щ].Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве : [Учебник для сред. проф.-техн. уч-щ]. - 2-е изд., перераб. и доп.М./Высш. школа/, 1980 ( ). - Высш. школа, 1980. - 181 с. : ил. ; 21 см. - (Профтехобразование).Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве : [Учебник для сред. проф.-техн. уч-щ]. 2-е изд., перераб. и доп.М., 1980 .
Загл. 3-го изд., перераб. и доп.: Термические процессы в микроэлектронике. - Библиогр.: с. 178. Библиогр.: с. 178.
Загл. 3-го изд., перераб. и доп.: Термические процессы в микроэлектронике. - Библиогр.: с. 178. Библиогр.: с. 178.