Описание RUSMARC Карточка

Термическая активация процесса травления полимера при прямом рисовании лазерным лучом

90-4/7324 русский (rus)/Термическая активация процесса травления полимера при прямом рисовании лазерным лучом .Термическая активация процесса травления полимера при прямом рисовании лазерным лучом.Термическая активация процесса травления полимера при прямом рисовании лазерным лучом.Ярославль/ИМ/, 1990 ( ). - ИМ, 1990. - 32 с. : ил. ; 20 см. - (Препринт / АН СССР. Науч. центр по фундам. пробл. вычисл. техники и систем упр., Ин-т микроэлектрон. ; № 14).Термическая активация процесса травления полимера при прямом рисовании лазерным лучом. Ярославль, 1990 .
     Рез. на англ. яз. - Библиогр.: с. 30-32. Библиогр.: с. 30-32. Масленицын, С. Ф., Сергей Федорович .С. Ф.Сергей ФедоровичСветовой, Виталий Борисович /
Связаться с нами:

тел.: 8-800-100-01-96 , 8(812)310-71-37

e-mail: office@nlr.ru