Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Кн. 4: Механическая и химическая обработка
89-3/13958 Т1 З844.1/Т-384 - 30000 экз.5-06-000306-Х/русский (rus)/Механическая и химическая обработка / [С.Н. Никифорова-Денисова].Механическая и химическая обработка / [С.Н. Никифорова-Денисова].Механическая и химическая обработка.Б. м./, 1989 ( ). - 1989. - 94, [1] с. : ил.Механическая и химическая обработка. Б. м., 1989 .Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники : [Учеб. пособие для ПТУ : В 10 кн.]Кн. 4