Процессы осаждения и свойства тонких слоев, (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1977-1987 гг.)
русский/Процессы осаждения и свойства тонких слоев : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1977-1987 гг.).Процессы осаждения и свойства тонких слоев : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1977-1987 гг.).Процессы осаждения и свойства тонких слоев : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1977-1987 гг.).Б. м./, 1988 ( ). - 1988. - 62 с. : ил. - (... ; Вып. 1 ; Вып. 2).Процессы осаждения и свойства тонких слоев : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1977-1987 гг.). Б. м., 1988 .
Библиогр.: с. 57-62. Библиогр.: с. 57-62.
Библиогр.: с. 57-62. Библиогр.: с. 57-62.