Вакуум-термическое оборудование, Разд. "Оборуд. для получения пленок в вакууме", Курс лекций для студентов спец. 0643
81-4/23429 русский/Вакуум-термическое оборудование : Разд. "Оборуд. для получения пленок в вакууме" : Курс лекций для студентов спец. 0643.Вакуум-термическое оборудование : Разд. "Оборуд. для получения пленок в вакууме" : Курс лекций для студентов спец. 0643.Вакуум-термическое оборудование : Разд. "Оборуд. для получения пленок в вакууме" : Курс лекций для студентов спец. 0643.М./МИСИС/, 1980 (вып. дан. 1981) ( ). - МИСИС, 1980 (вып. дан. 1981). - 68 с. : ил. ; 20 см.Вакуум-термическое оборудование : Разд. "Оборуд. для получения пленок в вакууме" : Курс лекций для студентов спец. 0643. М., 1980 (вып. дан. 1981) .
В надзаг.: Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов. - Библиогр.: с. 67 (10 назв.). Библиогр.: с. 67 (10 назв.).
В надзаг.: Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов. - Библиогр.: с. 67 (10 назв.). Библиогр.: с. 67 (10 назв.).