Описание RUSMARC Карточка

Дефекты кремниевой эпитаксиальной пленки и методы их исследования

82-4/25556 русский (rus)/Дефекты кремниевой эпитаксиальной пленки и методы их исследования .Дефекты кремниевой эпитаксиальной пленки и методы их исследования.Дефекты кремниевой эпитаксиальной пленки и методы их исследования.Баку/СКБ ИФАН/, 1982 ( ). - СКБ ИФАН, 1982. - [2], 22 с. : ил. ; 20 см. - (Препринт / АН АзССР, Ин-т физики ; № 50).Дефекты кремниевой эпитаксиальной пленки и методы их исследования. Баку, 1982 .
     Библиогр.: с. 21-22. Библиогр.: с. 21-22. Рзаев, С.Г. оглы, Салман Гадималы оглы .С.Г. оглыСалман Гадималы оглыАбдуллаев, Айдын Гасан оглы /
Связаться с нами:

тел.: 8-800-100-01-96 , 8(812)310-71-37

e-mail: office@nlr.ru