Диагностика микропримесей в фоторезистах методами светорассеяния
89-4/4603 русский (rus)/Диагностика микропримесей в фоторезистах методами светорассеяния .Диагностика микропримесей в фоторезистах методами светорассеяния.Диагностика микропримесей в фоторезистах методами светорассеяния.Минск/ИФ/, 1988 ( ). - ИФ, 1988. - 43 с. : ил. ; 21 см. - (Препринт / Ин-т физики АН БССР ; № 506).Диагностика микропримесей в фоторезистах методами светорассеяния. Минск, 1988 .
Библиогр.: с. 41-42. Библиогр.: с. 41-42.
Библиогр.: с. 41-42. Библиогр.: с. 41-42.