Плазменное анодирование, Физика, техника, применение в микроэлектронике
90-5/5224 Т1 З844.1/П-189 - 1000 экз.5-343-00522-5/русский (rus)/Плазменное анодирование : Физика, техника, применение в микроэлектронике.Плазменное анодирование : Физика, техника, применение в микроэлектронике.Плазменное анодирование : Физика, техника, применение в микроэлектронике.Минск/Навука i тэхнiка/, 1990 ( ). - Навука i тэхнiка, 1990. - 279, [1] с. : ил. ; 22 см.Плазменное анодирование : Физика, техника, применение в микроэлектронике. Минск, 1990 .
Библиогр.: с. 252-276 (555 назв.). Библиогр.: с. 252-276 (555 назв.).
Библиогр.: с. 252-276 (555 назв.). Библиогр.: с. 252-276 (555 назв.).