Высокочастотные источники ионов для ионной технологии
русский/Высокочастотные источники ионов для ионной технологии / Ананьев О.А., Дьяченко [!Дьячков] Б.А., Павлов В.Я.Высокочастотные источники ионов для ионной технологии / Ананьев О.А., Дьяченко [!Дьячков] Б.А., Павлов В.Я.Высокочастотные источники ионов для ионной технологии.Киев/ИФ/, 1990 ( ). - ИФ, 1990. - 32, [1] с. : ил. ; 20 см. - (Препринт / АН УССР, Ин-т физики ; № 15).Высокочастотные источники ионов для ионной технологии. Киев, 1990 .
На обл. авт. не указаны. - Библиогр.: с. 29-33 (53 назв.). Библиогр.: с. 29-33 (53 назв.).
На обл. авт. не указаны. - Библиогр.: с. 29-33 (53 назв.). Библиогр.: с. 29-33 (53 назв.).