Основы нанотехнологии. Электронная литография и ионная имплантация, Учеб. пособие
2000-4/3767 2000-4/3767 - 75 экз.5-7629-0297-8/[2000-23601]/русский/Основы нанотехнологии. Электронная литография и ионная имплантация : Учеб. пособие / В.И. Марголин, В.А. Тупик ; М-во образования РФ, С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ".Основы нанотехнологии. Электронная литография и ионная имплантация : Учеб. пособие / В.И. Марголин, В.А. Тупик.Основы нанотехнологии. Электронная литография и ионная имплантация : Учеб. пособие.СПб./ЛЭТИ/, 2000 ( ). - ЛЭТИ, 2000. - 55 с. : ил. ; 20 см.Основы нанотехнологии. Электронная литография и ионная имплантация : Учеб. пособие. СПб., 2000 .
Библиогр.: с. 54. Библиогр.: с. 54.Электронная литография и ионная имплантация/Нанотехнологии -- Учебно-методические пособия для высших учебных заведений/Нанотехнологии -- Учебные издания для высших учебных заведений/Литография электронная -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы/Литография электронная -- Учебные издания для высшей школы/Ионная имплантация -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы/Ионная имплантация -- Учебные издания для высшей школы/З844.1-06я73-1/
Библиогр.: с. 54. Библиогр.: с. 54.Электронная литография и ионная имплантация/Нанотехнологии -- Учебно-методические пособия для высших учебных заведений/Нанотехнологии -- Учебные издания для высших учебных заведений/Литография электронная -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы/Литография электронная -- Учебные издания для высшей школы/Ионная имплантация -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы/Ионная имплантация -- Учебные издания для высшей школы/З844.1-06я73-1/