Технология вертикально-интегрированных полупроводниковых структур для создания СБИС, Учеб. пособие
90-4/14029 русский (rus)/Технология вертикально-интегрированных полупроводниковых структур для создания СБИС : Учеб. пособие / Д.Д. Гордеев, В.Н. Дягилев, Ю.А. Парменов ; Под ред. к. т. н., доц. Ю.А. Парменова ; Гос. ком. СССР по нар. образованию, Моск. ин-т электрон. техники.Технология вертикально-интегрированных полупроводниковых структур для создания СБИС : Учеб. пособие / Д.Д. Гордеев, В.Н. Дягилев, Ю.А. Парменов.Технология вертикально-интегрированных полупроводниковых структур для создания СБИС : Учеб. пособие.М./МИЭТ/, 1989 ( ). - МИЭТ, 1989. - 67 с. : ил. ; 20 см.Технология вертикально-интегрированных полупроводниковых структур для создания СБИС : Учеб. пособие. М., 1989 .
Библиогр.: с. 64-66. Библиогр.: с. 64-66.
Библиогр.: с. 64-66. Библиогр.: с. 64-66.