Автоматизация технологии изготовления интегральных схем, Обзор зарубеж. литературы за 1968-1970 гг.
72-50к/647 русский (rus)/Автоматизация технологии изготовления интегральных схем : Обзор зарубеж. литературы за 1968-1970 гг.Автоматизация технологии изготовления интегральных схем : Обзор зарубеж. литературы за 1968-1970 гг.Автоматизация технологии изготовления интегральных схем : Обзор зарубеж. литературы за 1968-1970 гг.Б. м./Б. и./, 1971 ( ). - Б. и., 1971. - 47 с. ; 21 см.Автоматизация технологии изготовления интегральных схем : Обзор зарубеж. литературы за 1968-1970 гг. Б. м., 1971 .
Сост. указан на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 43-46. - Для служебного пользования. Экз. № 006. Библиогр.: с. 43-46.
Сост. указан на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 43-46. - Для служебного пользования. Экз. № 006. Библиогр.: с. 43-46.