ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ активность границ зерен в профилированном поликристаллическом кремнии
89-6/4983 русский (rus)/ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ активность границ зерен в профилированном поликристаллическом кремнии / Горелик С.С., Евтодий Б.Н., Ильящук Ю.М. и др.ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ активность границ зерен в профилированном поликристаллическом кремнии / Горелик С.С., Евтодий Б.Н., Ильящук Ю.М. и др.ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ активность границ зерен в профилированном поликристаллическом кремнии.Черноголовка/М./Б. и./Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особо чистых материалов/, 1989 ( ). - Б. и., Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особо чистых материалов, 1989. - 38 с. : ил. ; 21 см. - (Препринт / АН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особо чистых материалов).ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ активность границ зерен в профилированном поликристаллическом кремнии. Черноголовка, М., 1989 .
Библиогр.: с. 37-38. Библиогр.: с. 37-38.
Библиогр.: с. 37-38. Библиогр.: с. 37-38.