Анодное окисление кремния
77-4/27204 русский (rus)/Анодное окисление кремния .Анодное окисление кремния.Анодное окисление кремния.Новосибирск/Б. и./, 1977 ( ). - Б. и., 1977. - 25 с. : ил. ; 21 см. - (АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников. Препринт).Анодное окисление кремния. Новосибирск, 1977 .
Библиогр.: с. 24-25. Библиогр.: с. 24-25.
Библиогр.: с. 24-25. Библиогр.: с. 24-25.