Обработка поверхности тонких пленок импульсным электронным пучком
88-6/869 русский/Обработка поверхности тонких пленок импульсным электронным пучком .Обработка поверхности тонких пленок импульсным электронным пучком.Обработка поверхности тонких пленок импульсным электронным пучком.Дубна/ОИЯИ/, 1986 ( ). - ОИЯИ, 1986. - 7 с. : ил. ; 21 см. - (Препринт / Объед. ин-т ядер. исслед. ; Р13-86-860).Обработка поверхности тонких пленок импульсным электронным пучком. Дубна, 1986 .
Рез. на англ. яз. - Библиогр.: с. 6. Библиогр.: с. 6.
Рез. на англ. яз. - Библиогр.: с. 6. Библиогр.: с. 6.