Численное моделирование фотолиза кислорода вакуумным ультрафиолетом и механизмы ВУФ травления полимерных пленок в кислородосодержащий атмосфере
88-4/3720 русский (rus)/Численное моделирование фотолиза кислорода вакуумным ультрафиолетом и механизмы ВУФ травления полимерных пленок в кислородосодержащий атмосфере / К.А. Валиев, Т.М. Махвиладзе, С.Б. Пекарчук.Численное моделирование фотолиза кислорода вакуумным ультрафиолетом и механизмы ВУФ травления полимерных пленок в кислородосодержащий атмосфере / К.А. Валиев, Т.М. Махвиладзе, С.Б. Пекарчук.Численное моделирование фотолиза кислорода вакуумным ультрафиолетом и механизмы ВУФ травления полимерных пленок в кислородосодержащий атмосфере.М./Б. и./, 1986 ( ). - Б. и., 1986. - [2], 33 с. : граф. ; 20 см. - (Препринт / АН СССР, Ин-т общ. физики. Отд. микроэлектроники ; № 360).Численное моделирование фотолиза кислорода вакуумным ультрафиолетом и механизмы ВУФ травления полимерных пленок в кислородосодержащий атмосфере. М., 1986 .
Библиогр.: с. 23-24. Библиогр.: с. 23-24.
Библиогр.: с. 23-24. Библиогр.: с. 23-24.