ОЧИСТКА и травление кремния, По материалам отеч. и зарубеж. лит. за 1983-1985 гг.
С П-1/819 русский (rus)/ОЧИСТКА и травление кремния : По материалам отеч. и зарубеж. лит. за 1983-1985 гг. / Сост.: Чащина С.В., Лазаренко М.А.ОЧИСТКА и травление кремния : По материалам отеч. и зарубеж. лит. за 1983-1985 гг. / Сост.: Чащина С.В., Лазаренко М.А.ОЧИСТКА и травление кремния : По материалам отеч. и зарубеж. лит. за 1983-1985 гг.М./Б. и./, 1986 ( ). - Б. и., 1986. - 25 л. ; 30 см. - (ТУЛ / Всесоюз. электротехн. ин-т им. В.И. Ленина. ОНТИ ; № 212 (869)).ОЧИСТКА и травление кремния : По материалам отеч. и зарубеж. лит. за 1983-1985 гг. М., 1986 .
На обл. только загл. сер. - Темат. указ. лит.
На обл. только загл. сер. - Темат. указ. лит.