Газоразрядные источники излучения для фотолитографии
П51/94 русский (rus)/Газоразрядные источники излучения для фотолитографии / М-во электрон. пром-сти СССР. [ЦНИИ "Электроника"].Газоразрядные источники излучения для фотолитографии / М-во электрон. пром-сти СССР. [ЦНИИ "Электроника"].Газоразрядные источники излучения для фотолитографии.Москва/Б. и./, 1978 ( ). - Б. и., 1978. - 34 с., 2 л. табл. : ил. ; 21 см. - (Обзоры по электронной технике ; Вып. 522 ; Вып. 1).Газоразрядные источники излучения для фотолитографии. Москва, 1978 .
Перед загл. авт.: А.М. Данильченко, Б.Я. Луцет, В.А. Самодергин [и др.]. - Библиогр.: с. 32-34. Библиогр.: с. 32-34.
Перед загл. авт.: А.М. Данильченко, Б.Я. Луцет, В.А. Самодергин [и др.]. - Библиогр.: с. 32-34. Библиогр.: с. 32-34.