Описание RUSMARC Карточка

Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем

74-3/7352 [[75-7722]]/русский (rus)/Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем .Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем.Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем.Москва/Энергия/, 1975 ( ). - Энергия, 1975. - 209 с. : ил. ; 22 см.Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем. Москва, 1975 .
     Перед загл. авт.: И.Д. Голото, Б.П. Докучаев, Г.Д. Колмогоров. - Список лит.: с. 203-207 (90 назв.). Список лит.: с. 203-207 (90 назв.).Микроэлектронные схемы, интегральные -- Производство/Полупроводниковые приборы -- Производство/psbo/psbo/ Голото, И. Д., Иван Данилович .И. Д.Иван ДаниловичДокучаев, Борис Павлович /Колмогоров, Георгий Дмитриевич /