Термодинамические методы расчета равновесия реакций, применяемых в производстве полупроводниковых материалов
72-4/18135 [[72-53298]]/русский (rus)/Термодинамические методы расчета равновесия реакций, применяемых в производстве полупроводниковых материалов / Под ред. проф. Л.А. Фирсановой ; Моск. ин-т стали и сплавов.Термодинамические методы расчета равновесия реакций, применяемых в производстве полупроводниковых материалов / Под ред. проф. Л.А. Фирсановой.Термодинамические методы расчета равновесия реакций, применяемых в производстве полупроводниковых материалов.Москва/Б. и./, 1972 ( ). - Б. и., 1972. - 44 с. : черт. ; 20 см.Термодинамические методы расчета равновесия реакций, применяемых в производстве полупроводниковых материалов. Москва, 1972 .
Перед загл. авт.: Д.К. Белащенко, С.А. Ершова, Л.А. Фирсанова. - Список лит.: с. 43-44 (18 назв.). Список лит.: с. 43-44 (18 назв.).Полупроводники -- Производство -- Физико-химические основы/psbo/
Перед загл. авт.: Д.К. Белащенко, С.А. Ершова, Л.А. Фирсанова. - Список лит.: с. 43-44 (18 назв.). Список лит.: с. 43-44 (18 назв.).Полупроводники -- Производство -- Физико-химические основы/psbo/