Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники
95-3/5570 - 500 экз.5-256-00577-4/русский (rus)/Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л.М. Анищенко, С.Ю. Лавренюк, В.В. Петрухин.Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л.М. Анищенко, С.Ю. Лавренюк, В.В. Петрухин.Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники.М./Радио и связь/, 1995 ( ). - Радио и связь, 1995. - 175, [2] с. : ил. ; 20 см.Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники. М., 1995 .
Библиогр.: с. 171-176 (117 назв.). Библиогр.: с. 171-176 (117 назв.).
Библиогр.: с. 171-176 (117 назв.). Библиогр.: с. 171-176 (117 назв.).