Некоторые особенности диффузии галлия при производстве кремниевых высоковольтных приборов
82-6/2048 русский (rus)/Некоторые особенности диффузии галлия при производстве кремниевых высоковольтных приборов / В.В. Старков, К.Л. Фесюк, Н.И. Балякин, Г.И. Коханчик.Некоторые особенности диффузии галлия при производстве кремниевых высоковольтных приборов / В.В. Старков, К.Л. Фесюк, Н.И. Балякин, Г.И. Коханчик.Некоторые особенности диффузии галлия при производстве кремниевых высоковольтных приборов.Черноголовка/ИХФ/, 1981 ( ). - ИХФ, 1981. - 18 с. : ил. ; 21 см. - (Препринт / АН СССР. Отд-ние Ин-та хим. физики).Некоторые особенности диффузии галлия при производстве кремниевых высоковольтных приборов. Черноголовка, 1981 .
Библиогр.: с. 18. Библиогр.: с. 18.
Библиогр.: с. 18. Библиогр.: с. 18.