Диффузионные процессы в тонкопленочных металлических системах
93-4/6952 русский (rus)/Диффузионные процессы в тонкопленочных металлических системах / Алешин А.Н., Бокштейн Б.С., Куркин П.В.Диффузионные процессы в тонкопленочных металлических системах / Алешин А.Н., Бокштейн Б.С., Куркин П.В.Диффузионные процессы в тонкопленочных металлических системах.Черноголовка/Б. и./, 1992 ( ). - Б. и., 1992. - 47 с. ; 21 см. - (Препринт / Рос. акад. наук. Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов).Диффузионные процессы в тонкопленочных металлических системах. Черноголовка, 1992 .
Библиогр.: с. 38-47. Библиогр.: с. 38-47.
Библиогр.: с. 38-47. Библиогр.: с. 38-47.