Тонкопленочная интегральная технология в приборостроении, Учеб. пособие
86-3/9574 русский (rus)/Тонкопленочная интегральная технология в приборостроении : Учеб. пособие / Р.Р. Бабаян, к. т. н. ; М-во приборостроения средств автоматизации и систем упр. Упр. кадров и учеб. заведений, Моск. ин-т повышения квалификации руководящих работников и специалистов.Тонкопленочная интегральная технология в приборостроении : Учеб. пособие / Р.Р. Бабаян, к. т. н.Тонкопленочная интегральная технология в приборостроении : Учеб. пособие.М./Б. и./, 1985 ( ). - Б. и., 1985. - 107 с. : ил.Тонкопленочная интегральная технология в приборостроении : Учеб. пособие. М., 1985 .
Библиогр.: с. 102-105. Библиогр.: с. 102-105.
Библиогр.: с. 102-105. Библиогр.: с. 102-105.