Технология изготовления тонкопленочных элементов приборов, Лекции
русский/Технология изготовления тонкопленочных элементов приборов : Лекции.Технология изготовления тонкопленочных элементов приборов : Лекции.Технология изготовления тонкопленочных элементов приборов : Лекции.Ленинград/Ленингр. электротехн. ин-т/, 1979 ( ). - Ленингр. электротехн. ин-т, 1979. - 59 с. : ил. ; 20 см.Технология изготовления тонкопленочных элементов приборов : Лекции. Ленинград, 1979 .
В надзаг.: Ленингр. ин-т авиац. приборостроения. - Библиогр.: с. 58 (7 назв.). Библиогр.: с. 58 (7 назв.).Микроэлектронные схемы, интегральные -- Производство/psbo/з844.13-06я73-2/
В надзаг.: Ленингр. ин-т авиац. приборостроения. - Библиогр.: с. 58 (7 назв.). Библиогр.: с. 58 (7 назв.).Микроэлектронные схемы, интегральные -- Производство/psbo/з844.13-06я73-2/