Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии
русский (rus)/Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии / Сост.: Пинес Г.Э., Рокицкая Я.П. Ч. 2-.Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии / Сост.: Пинес Г.Э., Рокицкая Я.П. Ч. 2-.Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии.Москва/Б. и./, 1971 ( ). - Б. и., 1971. - ; 21 см. - (Министерство электронной промышленности СССР. Институт "Электроника". Тематические указатели литературы).Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии. Москва, 1971 .
На обл. сост. не указаны.
На обл. сост. не указаны.