Получение окисных пленок методом реактивного плазменного распыления, (По зарубежным материалам за 1966-1968 гг.)
П51/94 [П632-70]/русский (rus)/Получение окисных пленок методом реактивного плазменного распыления : (По зарубежным материалам за 1966-1968 гг.) / М-во электронной пром-сти СССР.Получение окисных пленок методом реактивного плазменного распыления : (По зарубежным материалам за 1966-1968 гг.) / М-во электронной пром-сти СССР.Получение окисных пленок методом реактивного плазменного распыления : (По зарубежным материалам за 1966-1968 гг.).[Москва]/Б. и./, 1969 ( ). - Б. и., 1969. - 39 с. : ил. ; 20 см. - (Обзоры по электронной технике ; Вып. 39 (108)).Получение окисных пленок методом реактивного плазменного распыления : (По зарубежным материалам за 1966-1968 гг.). [Москва], 1969 .
Отпеч. множит. аппаратом. - Библиогр.: с. 36-37. Библиогр.: с. 36-37.
Отпеч. множит. аппаратом. - Библиогр.: с. 36-37. Библиогр.: с. 36-37.