Современные технологические процессы в микроэлектронике. Ч. 4: Получение конфигурации элементов интегральных схем плазменными методами
82-4/29112 русский (rus)/Получение конфигурации элементов интегральных схем плазменными методами / С.В. Грушецкий, А.П. Достенко.Получение конфигурации элементов интегральных схем плазменными методами / С.В. Грушецкий, А.П. Достенко.Получение конфигурации элементов интегральных схем плазменными методами.Б. м./, 1981 ( ). - 1981. - 49 с. : ил.Получение конфигурации элементов интегральных схем плазменными методами. Б. м., 1981 .
Библиогр.: с. 45-49. Библиогр.: с. 45-49.Современные технологические процессы в микроэлектронике : Метод. пособие по курсам "Технология микросхем и элементов ЭВА", "Конструкции и технология микросхем", "Соврем. технол. процессы в пр-ве БИС и СБИС" для спец. 0705, 0648 / М-во высш. и сред. спец. образования БССР. Мин. радиотехн. ин-т. Каф. технологии радиоэлектрон. аппаратурыЧ. 4
Библиогр.: с. 45-49. Библиогр.: с. 45-49.Современные технологические процессы в микроэлектронике : Метод. пособие по курсам "Технология микросхем и элементов ЭВА", "Конструкции и технология микросхем", "Соврем. технол. процессы в пр-ве БИС и СБИС" для спец. 0705, 0648 / М-во высш. и сред. спец. образования БССР. Мин. радиотехн. ин-т. Каф. технологии радиоэлектрон. аппаратурыЧ. 4