Процессы на поверхности полупроводниковых структур при вакуумном методе эпитаксии, [Сб. статей]
82-4/19303 русский (rus)/Процессы на поверхности полупроводниковых структур при вакуумном методе эпитаксии : [Сб. статей] / АН СССР. Дальневост. науч. центр, Ин-т автоматики и процессов упр. ; [Редкол.: к. ф.-м. н. В.Г. Лифшиц (отв. ред.) и др.].Процессы на поверхности полупроводниковых структур при вакуумном методе эпитаксии : [Сб. статей] / АН СССР. Дальневост. науч. центр, Ин-т автоматики и процессов упр.Процессы на поверхности полупроводниковых структур при вакуумном методе эпитаксии : [Сб. статей].Владивосток/ДВНЦ АН СССР/, 1981 ( ). - ДВНЦ АН СССР, 1981. - 94 с. : ил. ; 20 см.Процессы на поверхности полупроводниковых структур при вакуумном методе эпитаксии : [Сб. статей]. Владивосток, 1981 .
Библиогр. в конце статей. Библиогр. в конце статей.Институт автоматики и процессов упр. (Владивосток)/
Библиогр. в конце статей. Библиогр. в конце статей.Институт автоматики и процессов упр. (Владивосток)/