Применение лазерных методов в технологии полупроводниковых приборов
русский (rus)/Применение лазерных методов в технологии полупроводниковых приборов / [Сост. Чашина С.В., Ушаков Ф.А.].Применение лазерных методов в технологии полупроводниковых приборов / [Сост. Чашина С.В., Ушаков Ф.А.].Применение лазерных методов в технологии полупроводниковых приборов.М./Б. и./, 1986 ( ). - Б. и., 1986. - ; 30 см. - (ТУЛ / Всесоюз. электротехн. ин-т им. В.И. Ленина. ОНТИ).Применение лазерных методов в технологии полупроводниковых приборов. М., 1986 .
На обл. только загл. сер.: Темат. указ. лит.
На обл. только загл. сер.: Темат. указ. лит.