Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников, Монография
93-5/1265 - 1000 экз.5-230-04179-X/русский (rus)/Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников : Монография.Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников : Монография.Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников : Монография.Н. Новгород/Изд-во Нижегород. ун-та/, 1992 ( ). - Изд-во Нижегород. ун-та, 1992. - 195, [3] с. : ил. ; 21 см.Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников : Монография. Н. Новгород, 1992 .
Библиогр.: с. 189-196 (134 назв.). Библиогр.: с. 189-196 (134 назв.).
Библиогр.: с. 189-196 (134 назв.). Библиогр.: с. 189-196 (134 назв.).