Лазерная технология интегральных схем
91-3/11910 - 4000 экз.5-256-01033-6/русский (rus)/Лазерная технология интегральных схем / Ю.Х. Гукетлев, А.А. Васенков, А.Г. Гарицын, В.В. Федоренко.Лазерная технология интегральных схем / Ю.Х. Гукетлев, А.А. Васенков, А.Г. Гарицын, В.В. Федоренко.Лазерная технология интегральных схем.М./Радио и связь/, 1991 ( ). - Радио и связь, 1991. - 320 с. : ил. ; 21 см.Лазерная технология интегральных схем. М., 1991 .
Библиогр.: с. 249-274 (365 назв.). Библиогр.: с. 249-274 (365 назв.).
Библиогр.: с. 249-274 (365 назв.). Библиогр.: с. 249-274 (365 назв.).