Основы технологии сверхбольших интегральных схем
86-5/3138 Т1 З844.1/Т-220 русский (rus)/Основы технологии сверхбольших интегральных схем / Я. Таруи ; Перевод с яп. В.А. Лазарева ; Под ред. В.Г. Ржанова.Основы технологии сверхбольших интегральных схем / Я. Таруи.Основы технологии сверхбольших интегральных схем.М./Радио и связь/, 1985 ( ). - Радио и связь, 1985. - 479 с. : ил. ; 22 см.Основы технологии сверхбольших интегральных схем. М., 1985 .
Загл. пер.: Основы технологии СБИС. - Библиогр.: с. 454-474. Библиогр.: с. 454-474.Основы технологии СБИС/
Загл. пер.: Основы технологии СБИС. - Библиогр.: с. 454-474. Библиогр.: с. 454-474.Основы технологии СБИС/