Физические основы неразрушающего СВЧ-резонаторного метода локального контроля электрофизических параметров полупроводников
89-4/3079 русский (rus)/Физические основы неразрушающего СВЧ-резонаторного метода локального контроля электрофизических параметров полупроводников / М.В. Детинко, Ю.В. Медведев, А.С. Петров.Физические основы неразрушающего СВЧ-резонаторного метода локального контроля электрофизических параметров полупроводников / М.В. Детинко, Ю.В. Медведев, А.С. Петров.Физические основы неразрушающего СВЧ-резонаторного метода локального контроля электрофизических параметров полупроводников.Томск/Изд-во Том. ун-та/, 1988 ( ). - Изд-во Том. ун-та, 1988. - 29 с. : ил. ; 21 см. - (Препринт / Сиб. физ.-техн. ин-т им. В.Д. Кузнецова при Том. гос. ун-те ; № 3).Физические основы неразрушающего СВЧ-резонаторного метода локального контроля электрофизических параметров полупроводников. Томск, 1988 .
Библиогр.: с. 27-29 (29 назв.). Библиогр.: с. 27-29 (29 назв.).
Библиогр.: с. 27-29 (29 назв.). Библиогр.: с. 27-29 (29 назв.).