Интегральные схемы, Материалы, приборы, изготовление
85-5/5273 Т1 З844.1/Т-407 русский (rus)/Интегральные схемы : Материалы, приборы, изготовление / Пер. с англ. М.Б. Левина, В.Г. Микуцкого ; Под ред. М.В. Гальперина.Интегральные схемы : Материалы, приборы, изготовление / Пер. с англ. М.Б. Левина, В.Г. Микуцкого.Интегральные схемы : Материалы, приборы, изготовление.М./Мир/, 1985 ( ). - Мир, 1985. - 504 с. : ил. ; 22 см.Интегральные схемы : Материалы, приборы, изготовление. М., 1985 .
Перевод изд.: Integrated circuits: materials, deviees, and labrication / William C. Till, James Luxon. (Englewood Cliffs, N. J., 1982). - Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 496-501. Библиогр. в конце глав. Предм. указ.: с. 496-501.
Перевод изд.: Integrated circuits: materials, deviees, and labrication / William C. Till, James Luxon. (Englewood Cliffs, N. J., 1982). - Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 496-501. Библиогр. в конце глав. Предм. указ.: с. 496-501.