Исследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования, Дис. в виде науч. докл. на соиск. учен. степ. д.т.н., Спец. 01.04.04
А98/2967 [98-02967a]/русский (rus)/Исследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования : Дис. в виде науч. докл. на соиск. учен. степ. д.т.н. : Спец. 01.04.04 / НИИ электрон. и ион. оптики.Исследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования : Дис. в виде науч. докл. на соиск. учен. степ. д.т.н. : Спец. 01.04.04 / НИИ электрон. и ион. оптики.Исследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования : Дис. в виде науч. докл. на соиск. учен. степ. д.т.н. : Спец. 01.04.04.М./, 1997 ( ). - 1997. - 55 с. : ил. ; 21 см.Исследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования : Дис. в виде науч. докл. на соиск. учен. степ. д.т.н. : Спец. 01.04.04. М., 1997 .
Библиогр.: с. 51-55. Библиогр.: с. 51-55.01.04.04/
Библиогр.: с. 51-55. Библиогр.: с. 51-55.01.04.04/